Giriş: Ultra Saf Su – Çip Üretiminin Cankurtaran Halatı
Yarı iletken üretiminde levha temizleme, aşındırma ve cilalama gibi kritik süreçlerin tamamı ultra saf suya dayanır. çok küçük miktarlardaki yabancı maddeler (iyonlar veya parçacıklar) bile kısa devrelere veya entegre devrelerde arızalara neden olarak talaş verimini doğrudan azaltabilir.
Sudaki Bu nedenle ultra saf suyun saflığı çok önemlidir ve
hazırlama, depolama ve dağıtım sistemindeki her bileşenin son derece yüksek temizlik gereksinimlerini karşılaması gerekir. Bu alanda kapasitif seviye sensörleri, üstün temizlik uyumluluğu ile
ultra saf su seviyelerinin izlenmesinde tercih edilen seçenek haline gelmiştir.
Seviye Sensörleri için Ultra Saf Su Sistemlerinin Sıkı Gereksinimleri
•
Son Derece Yüksek Temizlik: Sensör malzemesi, elektro-parlatılmış yüzeye (Ra≤0,4μm) sahip, ölü köşelerden arınmış, yüksek kaliteli paslanmaz çelik (316L L-VMP gibi) olmalıdır .
iyon çökelmesi ve kirletici adsorpsiyonu olmayan
•
Yüksek Sıcaklıkta Sterilizasyon Direnci: Sistem periyodik olarak yüksek sıcaklıkta saf buhar veya sıcak su sterilizasyonu (SIP) gerektirir ve sensörün 120°C'nin üzerindeki sıcaklıklara dayanabilmesi gerekir.
•
Korozyon Direnci: Sensörün, ozon suyu gibi yüksek derecede oksitleyici sterilizasyon ortamlarından kaynaklanan korozyona dayanabilmesi gerekir. •
Kararlı Ölçüm: Ultra saf su, son derece yüksek bir dirence (18,2 MΩ·cm) ve kararlı bir dielektrik sabitine sahiptir; son derece yüksek sinyal-gürültü oranına ve kararlılığa sahip sensörler gerektirir.
Kapasitif Seviye Sensörü Çözümü
1.
En Yüksek Temizlik Standartlarını Karşılar: Sensörün temas parçaları, SEMI F72 standartlarına uygun temiz malzemeler ve işleme teknikleri kullanabilir, böylece bir kirlenme kaynağı olmayacağı garanti edilir.
2.
Mükemmel Hijyenik Bağlantılar: Tri-Clamp, ISO ve SMS hijyenik proses bağlantıları mevcuttur ve kör nokta olmamasını sağlar.
3.
SIP Süreçlerine Toleranslı: Sterilizasyon sıcaklıklarına istikrarlı bir şekilde dayanan, yüksek sıcaklıkla uyumlu elektronik bileşenler ve sızdırmazlık malzemeleri kullanır.
4.
Doğru Ölçüm: Ultra saf suyun özelliklerine göre optimize edilmiş, kararlı ve yüksek oranda tekrarlanabilir seviye sinyalleri sağlar.
Temel Uygulamalar
•
Ultra Saf Su Depolama Tankları: Su dengesini korumak için tank seviyelerini izleyin ve su arıtma ekipmanına (RO/EDI/parlatma karma yatak) bağlayın.
•
Gofret Temizleyici Su Besleme Sistemi: Gofret temizleyiciden önce su tankına seviye kontrol sinyalleri sağlar.
•
Yüksek Saflıkta Kimyasal Çözelti Tankı: Seyreltilmiş yüksek saflıkta kimyasalların (örn. SC1, SC2) seviyesini izler.
Seçim Yönergeleri: Sensörün temizlik seviyesi (örneğin, SEMI standartlarını karşılama), ıslak malzeme sertifikaları,
iç yüzey bitirme sertifikası ve SIP döngülerine dayanma yeteneği açıkça belirtilmelidir.
