Einleitung: Reinstwasser – die Lebensader der Chipherstellung
In der Halbleiterfertigung sind kritische Prozesse wie das Reinigen, Ätzen und Polieren von Wafern auf hochreines Wasser angewiesen. Selbst kleinste Mengen an Verunreinigungen (Ionen oder Partikel)
im Wasser können Kurzschlüsse oder Defekte in integrierten Schaltkreisen verursachen und so die Chipausbeute direkt verringern. Daher ist die Reinheit von Reinstwasser von größter Bedeutung und jede Komponente in
seinem Aufbereitungs-, Speicher- und Abgabesystem muss extrem hohe Reinheitsanforderungen erfüllen. In diesem Bereich haben sich kapazitive Füllstandsensoren aufgrund ihrer hervorragenden Reinheitsverträglichkeit
zur bevorzugten Wahl für die Überwachung von Reinstwasserständen entwickelt.
Die strengen Anforderungen von Reinstwassersystemen an Füllstandsensoren
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Extrem hohe Sauberkeit: Das Sensormaterial muss hochwertiger Edelstahl (z. B. 316L L-VMP) mit einer elektropolierten Oberfläche (Ra ≤ 0,4 μm) sein, frei von toten Ecken
und frei von Ionenausfällung und Schadstoffadsorption.
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Hochtemperatur-Sterilisationsbeständigkeit: Das System erfordert eine regelmäßige Hochtemperatur-Sterilisation mit reinem Dampf oder Heißwasser (SIP), und der Sensor muss Temperaturen über 120 °C standhalten können.
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Korrosionsbeständigkeit: Der Sensor muss der Korrosion durch stark oxidierende Sterilisationsumgebungen wie Ozonwasser standhalten. •
Stabile Messung: Reinstwasser hat einen extrem hohen spezifischen Widerstand (18,2 MΩ·cm) und eine stabile Dielektrizitätskonstante, was Sensoren mit extrem hohem Signal-Rausch-Verhältnis und Stabilität erfordert.
Kapazitive Füllstandsensorlösung
1.
Erfüllt die höchsten Sauberkeitsstandards: Für die Kontaktteile des Sensors können saubere Materialien und Verarbeitungstechniken verwendet werden, die den SEMI F72-Standards entsprechen, sodass sichergestellt ist, dass sie nicht zu einer Kontaminationsquelle werden.
2.
Perfekte hygienische Verbindungen: Tri-Clamp-, ISO- und SMS-hygienische Prozessanschlüsse sind verfügbar, sodass keine toten Winkel entstehen.
3.
Tolerant gegenüber SIP-Prozessen: Verwendet hochtemperaturkompatible elektronische Komponenten und Dichtungsmaterialien und hält Sterilisationstemperaturen stabil stand.
4.
Präzise Messung: Optimiert für die Eigenschaften von Reinstwasser und liefert stabile und hochgradig wiederholbare Füllstandsignale.
Kernanwendungen
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Lagertanks für Reinstwasser: Überwachen Sie den Tankfüllstand und verbinden Sie ihn mit Wasseraufbereitungsgeräten (RO/EDI/Poliermischbett), um den Wasserhaushalt aufrechtzuerhalten.
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Wasserversorgungssystem für den Wafer-Reiniger: Liefert Füllstandskontrollsignale an den Wassertank vor dem Wafer-Reiniger.
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Tank für hochreine chemische Lösungen: Überwacht den Füllstand verdünnter hochreiner Chemikalien (z. B. SC1, SC2).
Auswahlrichtlinien: Der Reinheitsgrad des Sensors (z. B. Erfüllung der SEMI-Standards), Zertifikate für benetzte Materialien,
Zertifizierung der internen Oberflächenbeschaffenheit und die Fähigkeit, SIP-Zyklen standzuhalten, müssen klar angegeben werden.
