Introdução: Água Ultrapura – A Salvação da Fabricação de Chips
Na fabricação de semicondutores, processos críticos como limpeza, gravação e polimento de wafers dependem de água ultrapura. Mesmo pequenas quantidades de impurezas (íons ou partículas)
na água podem causar curtos-circuitos ou defeitos nos circuitos integrados, reduzindo diretamente o rendimento dos cavacos. Portanto, a pureza da água ultrapura é fundamental, e cada componente em
seu sistema de preparação, armazenamento e distribuição deve atender a requisitos de limpeza extremamente elevados. Neste campo, os sensores de nível capacitivos, com sua compatibilidade de limpeza superior,
tornaram-se a escolha preferida para monitorar níveis de água ultrapura.
Os rigorosos requisitos dos sistemas de água ultrapura para sensores de nível
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Limpeza extremamente alta: O material do sensor deve ser de aço inoxidável de alta qualidade (como 316L L-VMP), com superfície eletropolida (Ra≤0,4μm), livre de cantos mortos
e livre de precipitação de íons e adsorção de contaminantes.
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Resistência à esterilização em alta temperatura: O sistema requer esterilização periódica por vapor puro em alta temperatura ou água quente (SIP), e o sensor deve ser capaz de suportar temperaturas acima de 120°C.
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Resistência à corrosão: O sensor deve ser capaz de suportar a corrosão de ambientes de esterilização altamente oxidantes, como água com ozônio. •
Medição estável: A água ultrapura possui resistividade extremamente alta (18,2 MΩ·cm) e uma constante dielétrica estável, exigindo sensores com relação sinal-ruído e estabilidade extremamente altas.
Solução de sensor de nível capacitivo
1.
Atende aos mais altos padrões de limpeza: As peças de contato do sensor podem usar materiais limpos e técnicas de processamento em conformidade com os padrões SEMI F72, garantindo que não se tornarão uma fonte de contaminação.
2.
Conexões higiênicas perfeitas: conexões de processo higiênico Tri-Clamp, ISO e SMS estão disponíveis, garantindo que não haja pontos cegos.
3.
Tolerante a processos SIP: Utiliza componentes eletrônicos e materiais de vedação compatíveis com altas temperaturas, suportando de forma estável as temperaturas de esterilização.
4.
Medição Precisa: Otimizada para as características da água ultrapura, fornecendo sinais de nível estáveis e altamente repetíveis.
Aplicativos principais
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Tanques de armazenamento de água ultrapura: Monitore os níveis do tanque e conecte-se ao equipamento de purificação de água (RO/EDI/leito misto de polimento) para manter o equilíbrio da água.
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Sistema de abastecimento de água do limpador de wafer: Fornece sinais de controle de nível para o tanque de água antes do limpador de wafer.
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Tanque de solução química de alta pureza: Monitora o nível de produtos químicos diluídos de alta pureza (por exemplo, SC1, SC2).
Diretrizes de seleção: O nível de limpeza do sensor (por exemplo, atendendo aos padrões SEMI), certificados de materiais molhados,
certificação de acabamento superficial interno e capacidade de suportar ciclos SIP devem ser claramente especificados.
