はじめに: 超純水 – チップ製造の生命線
半導体製造では、ウェーハの洗浄、エッチング、研磨などの重要なプロセスはすべて超純水に依存しています。微量の不純物（イオンまたは粒子）であっても、集積回路の短絡や欠陥の原因となり、チップの歩留まりが直接低下する可能性があります。
水中のしたがって、超純水の純度は最も重要であり、
その調製、保管、供給システムのすべてのコンポーネントが非常に高い清浄度要件を満たしている必要があります。この分野では、優れた清浄度適合性を備えた静電容量式レベルセンサーが、
超純水のレベルを監視するための好ましい選択肢となっています。
レベルセンサー用の超純水システムの厳しい要件
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非常に高い清浄度: センサーの材質は、電解研磨された表面 (Ra≤0.4μm) を備え、デッドコーナーがなく、イオンの析出や汚染物質の吸着がない、高級ステンレス鋼 (316L L-VMP など) でなければ
なりません。
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高温滅菌耐性: システムは定期的な高温純粋蒸気または熱水滅菌 (SIP) を必要とし、センサーは 120°C を超える温度に耐えることができなければなりません。
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耐食性: センサーは、オゾン水などの高度に酸化する滅菌環境による腐食に耐えることができなければなりません。 •
安定した測定: 超純水は非常に高い抵抗率 (18.2 MΩ・cm) と安定した誘電率を持っているため、非常に高い S/N 比と安定性を備えたセンサーが必要です。
静電容量式レベルセンサーソリューション
1.
最高の清浄度基準を満たしています: センサーの接触部分には、SEMI F72 基準に準拠した清浄な材料と処理技術が使用されており、汚染源になりません。
2.
完璧な衛生的な接続: トライクランプ、ISO、および SMS の衛生的なプロセス接続が利用可能で、死角がありません。
3.
SIPプロセスへの耐性: 高温対応の電子部品とシール材を使用し、滅菌温度に安定して耐えます。
4.
正確な測定：超純水の特性に最適化されており、安定した再現性の高いレベル信号が得られます。
コアアプリケーション
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超純水貯蔵タンク：タンクレベルを監視し、水のバランスを維持するために浄水装置（RO/EDI/研磨混合床）と連携します。
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ウェーハ クリーナー給水システム: ウェーハ クリーナーの前の水タンクにレベル制御信号を提供します。
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高純度薬液タンク：希釈された高純度薬液（SC1、SC2など）のレベルを監視します。
選択ガイドライン: センサーの清浄度レベル (SEMI 規格を満たすなど)、接液部材料証明書、
内面仕上げ証明書、および SIP サイクルに耐える能力を明確に指定する必要があります。
