Introduction : Eau ultrapure – La bouée de sauvetage de la fabrication de puces
Dans la fabrication de semi-conducteurs, les processus critiques tels que le nettoyage, la gravure et le polissage des plaquettes reposent tous sur de l’eau ultrapure. Même des quantités infimes d'impuretés (ions ou particules)
dans l'eau peuvent provoquer des courts-circuits ou des défauts dans les circuits intégrés, réduisant directement le rendement des puces. Par conséquent, la pureté de l’eau ultra pure est primordiale et chaque composant de
son système de préparation, de stockage et de distribution doit répondre à des exigences de propreté extrêmement élevées. Dans ce domaine, les capteurs de niveau capacitifs, avec leur compatibilité supérieure en matière de propreté,
sont devenus le choix privilégié pour surveiller les niveaux d’eau ultrapure.
Les exigences strictes des systèmes d'eau ultrapure pour les capteurs de niveau
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Propreté extrêmement élevée : le matériau du capteur doit être de l'acier inoxydable de haute qualité (tel que 316L L-VMP), avec une surface électropolie (Ra≤0,4 μm), exempte de coins morts
et exempte de précipitation d'ions et d'adsorption de contaminants.
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Résistance à la stérilisation à haute température : le système nécessite une stérilisation périodique à la vapeur pure ou à l'eau chaude (SIP) à haute température, et le capteur doit être capable de résister à des températures supérieures à 120 °C.
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Résistance à la corrosion : le capteur doit être capable de résister à la corrosion provoquée par des environnements de stérilisation hautement oxydants tels que l'eau ozonisée. •
Mesure stable : l'eau ultrapure a une résistivité extrêmement élevée (18,2 MΩ·cm) et une constante diélectrique stable, nécessitant des capteurs avec un rapport signal/bruit et une stabilité extrêmement élevés.
Solution de capteur de niveau capacitif
1.
Répond aux normes de propreté les plus élevées : les pièces de contact du capteur peuvent utiliser des matériaux propres et des techniques de traitement conformes aux normes SEMI F72, garantissant qu'elles ne deviendront pas une source de contamination.
2.
Connexions hygiéniques parfaites : des connexions de processus hygiéniques Tri-Clamp, ISO et SMS sont disponibles, garantissant l'absence d'angle mort.
3.
Tolérant aux processus SIP : utilise des composants électroniques et des matériaux d'étanchéité compatibles avec les hautes températures, résistant de manière stable aux températures de stérilisation.
4.
Mesure précise : optimisée pour les caractéristiques de l'eau ultrapure, fournissant des signaux de niveau stables et hautement répétables.
Applications principales
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Réservoirs de stockage d'eau ultrapure : surveillez les niveaux des réservoirs et connectez-vous à l'équipement de purification de l'eau (RO/EDI/lit mélangé de polissage) pour maintenir l'équilibre de l'eau.
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Système d'alimentation en eau du nettoyeur de plaquettes : fournit des signaux de contrôle de niveau au réservoir d'eau avant le nettoyeur de plaquettes.
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Réservoir de solution chimique de haute pureté : surveille le niveau de produits chimiques dilués de haute pureté (par exemple, SC1, SC2).
Directives de sélection : Le niveau de propreté du capteur (par exemple, conforme aux normes SEMI), les certificats de matériaux mouillés,
la certification de finition de surface interne et la capacité à résister aux cycles SIP doivent être clairement spécifiés.
