Introducción: Agua ultrapura: el sustento de la fabricación de chips
En la fabricación de semiconductores, procesos críticos como la limpieza, el grabado y el pulido de obleas dependen del agua ultrapura. Incluso cantidades mínimas de impurezas (iones o partículas)
en el agua pueden provocar cortocircuitos o defectos en los circuitos integrados, reduciendo directamente el rendimiento del chip. Por lo tanto, la pureza del agua ultrapura es primordial y cada componente de
su sistema de preparación, almacenamiento y suministro debe cumplir requisitos de limpieza extremadamente altos. En este campo, los sensores de nivel capacitivos, con su compatibilidad de limpieza superior,
se han convertido en la opción preferida para monitorear los niveles de agua ultrapura.
Los estrictos requisitos de los sistemas de agua ultrapura para sensores de nivel
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Limpieza extremadamente alta: el material del sensor debe ser acero inoxidable de alta calidad (como 316L L-VMP), con una superficie electropulida (Ra≤0,4μm), libre de esquinas muertas
y libre de precipitación de iones y adsorción de contaminantes.
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Resistencia a la esterilización a alta temperatura: el sistema requiere esterilización periódica con vapor puro a alta temperatura o agua caliente (SIP), y el sensor debe poder soportar temperaturas superiores a 120 °C.
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Resistencia a la corrosión: el sensor debe poder resistir la corrosión de ambientes de esterilización altamente oxidantes, como el agua con ozono. •
Medición estable: El agua ultrapura tiene una resistividad extremadamente alta (18,2 MΩ · cm) y una constante dieléctrica estable, lo que requiere sensores con una relación señal-ruido y estabilidad extremadamente altas.
Solución de sensor de nivel capacitivo
1.
Cumple con los más altos estándares de limpieza: las piezas de contacto del sensor pueden utilizar materiales limpios y técnicas de procesamiento que cumplan con los estándares SEMI F72, lo que garantiza que no se convierta en una fuente de contaminación.
2.
Conexiones higiénicas perfectas: Están disponibles conexiones de proceso higiénicas Tri-Clamp, ISO y SMS, lo que garantiza que no haya puntos ciegos.
3.
Tolerante a los procesos SIP: utiliza componentes electrónicos y materiales de sellado compatibles con altas temperaturas, que soportan de manera estable las temperaturas de esterilización.
4.
Medición precisa: optimizada para las características del agua ultrapura, proporcionando señales de nivel estables y altamente repetibles.
Aplicaciones principales
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Tanques de almacenamiento de agua ultrapura: monitoree los niveles de los tanques y vincúlelos con equipos de purificación de agua (RO/EDI/lecho mixto de pulido) para mantener el equilibrio hídrico.
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Sistema de suministro de agua del limpiador de obleas: Proporciona señales de control de nivel al tanque de agua antes del limpiador de obleas.
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Tanque de solución química de alta pureza: monitorea el nivel de productos químicos diluidos de alta pureza (p. ej., SC1, SC2).
Pautas de selección: Se deben especificar claramente el nivel de limpieza del sensor (por ejemplo, cumplir con los estándares SEMI), los certificados de material húmedo,
la certificación de acabado de la superficie interna y la capacidad para soportar ciclos SIP.
