소개: 초순수 - 칩 제조의 생명선
반도체 제조에서 웨이퍼 세척, 에칭, 연마와 같은 중요한 공정은 모두 초순수에 의존합니다. 극미량의 불순물(이온 또는 입자)이라도 있으면 집적 회로의 단락이나 결함이 발생하여 칩 수율이 직접적으로 감소할 수 있습니다.
물 속에 따라서 초순수의 순도가 가장 중요하며, 초순수
의 준비, 보관 및 전달 시스템의 모든 구성 요소는 매우 높은 청결도 요구 사항을 충족해야 합니다. 이 분야에서는 뛰어난 청정도 호환성을 갖춘 정전용량형 레벨 센서가
초순수 레벨 모니터링에 선호되는 선택이 되었습니다.
레벨 센서용 초순수 시스템의 엄격한 요구 사항
•
극도로 높은 청결도: 센서 재료는 고급 스테인리스 스틸(예: 316L L-VMP)이어야 하며 전해연마 표면(Ra≤0.4μm), 사각지대가 없고
이온 침전 및 오염 물질 흡착이 없어야 합니다.
•
고온 살균 저항성: 시스템에는 주기적인 고온 순수 증기 살균 또는 온수 살균(SIP)이 필요하며 센서는 120°C 이상의 온도를 견딜 수 있어야 합니다.
•
부식 저항성: 센서는 오존수와 같은 산화성이 높은 살균 환경으로 인한 부식을 견딜 수 있어야 합니다. •
안정적인 측정: 초순수는 매우 높은 저항률(18.2 MΩ·cm)과 안정적인 유전 상수를 가지므로 매우 높은 신호 대 잡음비와 안정성을 갖춘 센서가 필요합니다.
용량성 레벨 센서 솔루션
1.
최고 청정도 표준 충족: 센서의 접촉 부분은 SEMI F72 표준을 준수하는 깨끗한 재료와 처리 기술을 사용하므로 오염원이 되지 않습니다.
2.
완벽한 위생 연결: Tri-Clamp, ISO 및 SMS 위생 프로세스 연결을 사용할 수 있어 사각지대가 없습니다.
3.
SIP 공정에 대한 내성: 고온 호환 전자 부품 및 밀봉 재료를 활용하여 멸균 온도를 안정적으로 견뎌냅니다.
4.
정확한 측정: 초순수의 특성에 최적화되어 안정적이고 반복성이 높은 레벨 신호를 제공합니다.
핵심 애플리케이션
•
초순수 저장탱크 : 탱크 수위를 모니터링하고 정수장비(RO/EDI/연마혼합층)와 연계하여 물의 균형을 유지합니다.
•
웨이퍼 클리너 급수 시스템: 웨이퍼 클리너 전 물탱크에 레벨 제어 신호를 제공합니다.
•
고순도 약액탱크: 희석된 고순도 약품(예: SC1, SC2)의 농도를 모니터링합니다.
선택 지침: 센서의 청결도 수준(예: SEMI 표준 충족), 습식 재료 인증서,
내부 표면 마감 인증 및 SIP 주기를 견딜 수 있는 능력을 명확하게 지정해야 합니다.
